摘要： EDA是电子设计自动化（Electronic Design Automation） 的简称， 工程师利用EDA软件将芯片的电路设计、性能分析、IC版图设计以及光刻掩模板设计的整个过程交由计算机自动处理完成，EDA软件是集成电路产业的支撑工具。器件仿真、成品率分析和优化、光刻模拟以及互连线寄生参数提取等EDA工具都涉及大量电磁场仿真问题，自适应有限元方法在高精度电磁场仿真模拟中扮演重要角色。本报告将围绕互连线参数提取和光刻模拟两类重要应用，介绍在建模、并行自适应有限元算法设计及其并行实现方面的工作。包括：建立场与电路耦合的涡流模型,并设计相关自适应有限元方法；提出电磁散射问题的各向异性完美匹配层方法；基于我们正在发展的并行自适应有限元编程框架PHG，研制基于自适应有限元方法的互连线参数提取工具， 并在我国“天河”系列大型计算机上实现了数万处理器核心和超10亿自由度的实际电路模拟。